常用真空系統(tǒng)在波紋補(bǔ)償器中的運(yùn)用
常用真空系統(tǒng)在波紋補(bǔ)償器中的運(yùn)用,波紋補(bǔ)償器生產(chǎn)中應(yīng)用的真空系統(tǒng)種類繁多。這里將根據(jù)真空系統(tǒng)的工作壓強(qiáng)范圍,介紹一些典型結(jié)構(gòu)的常用的真空系統(tǒng)。 中、低真空系統(tǒng)是能獲得10-3托以下真空度的系統(tǒng),以旋片波紋補(bǔ)償器或吸附波紋補(bǔ)償器等為主波紋補(bǔ)償器,配以真空閥門、捕集器及管道等連接而成。這樣組成的系統(tǒng)抽速一般較小,如要提高抽速可選用滑閥真空波紋補(bǔ)償器或松夏波紋補(bǔ)償器機(jī)組。
中、低真空系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、排氣量大,主要用在各類電子管的預(yù)排,白熾燈與熒光燈的排氣,真空儲(chǔ)存柜和離子戮射鍍膜機(jī)等裝置中。中、低真空系統(tǒng)的真空度可用火花檢測(cè)器或放電管指示器來估計(jì),也可用熱傳導(dǎo)真空計(jì)來測(cè)量。為了提高系統(tǒng)的工作真空度,減少旋片波紋補(bǔ)償器蒸氣和系統(tǒng)中蒸氣對(duì)真空系統(tǒng)的影響,在三通玻璃活塞上,側(cè)接一只外冷式液氮冷阱。
帶液氮冷阱的真空系統(tǒng)工作真空度可以達(dá)到10-3托左右。若該系統(tǒng)要反復(fù)暴露大氣,采用活性氧化鋁擋油阱同樣能達(dá)到上述目的,不過活性氧化鋁要定期激活。